怎样测量浅台阶的内孔螺纹钢直径怎么测量（机械问题）

来源：蜘蛛抓取(WebSpider) 时间：2011-05-04 01:28 标签： 螺纹钢直径怎么测量
测量内孔台阶深度的检具设计_百度文库
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测量内孔台阶深度的检具设计
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关于台阶仪测量厚度的问题
用磁控溅射方法制备薄膜，先是在硅片上镀Ti，然后在Ti上镀Co，都是10多纳米厚，如果想用台阶仪测量Ti膜和Co膜的厚度，镀膜的时候需要怎么做呢？
楼上基本正解。最好是有光学轮廓仪之类可以测台阶的，方便，准确。
谢谢你的帮助，可是没有带有膜厚监测仪的设备
没有膜厚检测仪，就用个笨办法：
分别镀带台阶的Ti膜和Co膜，要镀厚一些，时间长一些，这样用台阶仪测量的数据会准确些，然后用厚度除以时间，得出两种膜的沉积速率，然后镀你的样品，用沉积速率来估算各层所需的沉积时间。
但这里有个问题，就是薄膜在初始沉积阶段有一个形核时间，因此初始阶段的沉积速率与后面的不一定一致，因此如果你想要得到更精确的，还有一个更笨的办法：
用上一个笨办法估算的10纳米的沉积时间，交替沉积Ti和Co的多层膜，（自然也要遮出台阶），层数要多一些，厚一些，然后再用台阶仪测量，根据层数计算各层的厚度是否是10纳米，如果不是，调整单层的沉积时间，镀膜再测，直至测量计算的层厚正好为10纳米。
我对楼主说的这个方法不太懂，能具体点吗？怎么将胶剥下，剥下后膜又转移到哪里了？
您好，能介绍一下光学轮廓仪测台阶的原理吗
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