jade6.0下载怎么设置默认靶材?

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jade6没有坐标轴显示,怎么设置
jade6没有坐标轴显示,怎么设置啊?还有就是如何把峰的d值直接标在峰上呢?诚求指点!
角度和强度坐标都没有
再请教一下,那个d=能不能删除掉啊?不然看着好长一串,占地方。谢谢:hand:
Jade 6做不到,这是软件的格式缺陷吧
好吧,谢谢你了呀
哎呀,偶然间终于知道怎么回事了,不是软件缺陷,是设置问题。把标题栏下Hide下拉列表中Marginless window前的勾去掉就能显示出来了。
呵呵,谢谢!你要直接用这个图去作为发表文章用吗?
呵呵,我试了一下,这只是显示还是不显示横坐标轴的啊,不是如何去除“d=&的啊
那个d=貌似是去不掉的,我试过都不行,应该是系统自带没法设置的吧
不,我只是分析,图用grapher做好看些
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扫描下载送金币磁控溅射平面靶材屏蔽罩的制作方法
专利名称磁控溅射平面靶材屏蔽罩的制作方法
技术领域磁控溅射平面靶材屏蔽罩技术领域:本实用新型涉及一种屏蔽罩,特别是涉及一种改型磁控溅射平面靶材屏蔽罩,应用于磁控溅射薄膜沉积,涉及磁控溅射设备技术领域。
背景技术:真空磁控溅射过程中,电子在电磁场的作用下以旋轮线的运动轨迹向阳极靠近,在该迁移中与Ar原子发生电尚碰撞,生成的Ar尚子在电场作用下撞击祀材进而发生派射
效果。其中电子的旋轮线轨迹的旋轮半径为r =为保证在磁控溅射过程中沉积
薄膜的纯度,需在平面靶材侧面四周及靶表面非靶材区域添加屏蔽罩,屏蔽罩与阴极靶材
之间的距离5 S ip ,即万i mE/(eB2) = 337U^/M (U是磁控溅射的电压,υ = Εδ),若υ=500
V, B=0.03 Τ,则5£0_25aw。在大型平面靶材的应用中传统的屏蔽罩为分体结构,靶材侧面四周为分离的四块挡板由螺钉直接固定在靶背板上,靶表面边缘四周非靶材区域由固定于侧挡板上的盖板遮罩,在大型平面靶的使用中,该种分离结构的侧挡板由于长度较长在生产过程中由于加热容易发生形变导致部分侧板距离与阴极靶材侧面过近,较容易出现打火或短路现象。实用新型内容:本实用新型就是为了 克服现有技术存在的不足,对传统的靶材屏蔽罩做出相应改进,设计一种改型磁控溅射平面靶材屏蔽罩。技术方案:一种磁控溅射平面靶材屏蔽罩,包括靶背板,屏蔽罩,四周侧挡板,上方盖板,固定螺钉组成,所述四周侧挡板为整体结构,上方盖板也为整体结构,所述四周侧挡板由螺钉固定于靶背板上,所述四周侧挡板上侧留有缺口,保证溅射过程中产生的颗粒杂质漏掉,所述缺口下沿与位于四周侧挡板内部的阴极靶上表面保持同一高度,所述四周侧挡板安装后应保证其与其内部阴极靶侧面距离为0.1 0.5cm,优选0.2cm,所述上方盖板由螺钉固定于四周侧挡板上,上方盖板与位于四周侧挡板内部的阴极靶上表面平行且距离保证为0.1 0.5cm,优选0.2cm,上盖板的内侧边缘与阴极靶上表面靶材区域外沿对齐,保证非祀材区域被完全遮挡屏蔽。本实用新型的有益效果:本实用新型的改型磁控溅射平面靶材屏蔽罩,可减小在安装及实际镀膜加热过程中的形变,使其与靶材基座之间距离保持稳定,减少阴阳极之间距离过近而产生打火现象的发生频率。
:图1是改型平面靶材屏蔽罩四周侧板的主视图;图2是图1的俯视图;图3是图1的左视图;图4是改型平面靶材屏蔽罩上盖板的俯视图;图5是改型平面靶材屏蔽罩装配图。图中标号为I为祀背板,2为四周侧挡板,3为上方盖板;4为固定螺钉,5为缺口。[0017]具体实施方式
:参见图1-图5,磁控溅射平面靶材屏蔽罩包括靶背板1,四周侧挡板2和上方盖板3,以及固定螺钉4。其中,所述四周侧挡板2为整体结构,四周侧挡板2的四条边框能够相互支撑,保证在安装及加热过程中其形变最小。所述四周侧挡板2的下方分别设置有向外的翻边,在翻边上设置有安装孔,利用固定螺钉4将所述四周侧挡板2固定于靶背板I上,安装后应保证所述四周侧挡板2与阴极靶侧面为0.2cm左右。所述四周侧挡板2上侧留有缺口 5,保证溅射过程中产生的颗粒杂质漏掉。同时,所述缺口 5下沿与位于四周侧挡板2内部的阴极靶上表面处于一个水平位置,所述四周侧挡板2安装后应保证其与阴极靶侧面距离为0.2cm左右,上方盖板3也为整体结构,所述上方盖板3由固定螺钉4固定于四周侧挡板2上,与靶上表面平行且距离保证为0.2cm左右,上盖板3内侧边缘应与阴极靶上表面靶材区域外沿对齐,保证非靶材区域被完全遮挡屏蔽。
权利要求1.一种磁控溅射平面靶材屏蔽罩,包括靶背板(1),四周侧挡板(2),上方盖板(3),固定螺钉(4),所述上方盖板(3)由固定螺钉(4)固定于四周侧挡板(2)上,其特征在于,所述四周侧挡板(2)为整体结构,上方盖板(3)也为整体结构,所述四周侧挡板(2)由固定螺钉(4)固定于靶背板(I)上。
2.根据权利要求1所述的磁控溅射平面靶材屏蔽罩,其特征在于所述四周侧挡板(2)上侧留有缺口(5)。
3.根据权利要求2所述的磁控溅射平面靶材屏蔽罩,其特征在于,所述缺口(5)下沿与位于四周侧挡板(2)内部的阴极靶上表面保持同一高度。
4.根据权利要求1所述的磁控溅射平面靶材屏蔽罩,其特征在于,所述四周侧挡板(2)与其内部的阴极革巴侧面距离为0.1 0.5cm。
5.根据权利要求4所述的磁控溅射平面靶材屏蔽罩,其特征在于,所述四周侧挡板(2)与阴极靶侧面距离为0.20cm。
6.根据权利要求1所述的磁控溅射平面靶材屏蔽罩,其特征在于,所述上方盖板(3)与位于四周侧挡板(2)内部的阴极靶上表面平行且距离保证为0.1 0.5cm,上盖板的内侧边缘与阴极靶上表面靶材区域外沿对齐。
7.根据权利要求6所述的磁控溅射平面靶材屏蔽罩,其特征在于,所述上方盖板(3)与阴极靶上表面平行且距离保证为0.20cm。
专利摘要本实用新型涉及一种磁控溅射平面靶材屏蔽罩,包括靶背板,屏蔽罩,四周侧挡板,上方盖板,固定螺钉,所述四周侧挡板为整体结构,上方盖板也为整体结构,所述四周侧挡板由螺钉固定于靶背板上,所述四周侧挡板上侧留有缺口,保证溅射过程中产生的颗粒杂质漏掉,本实用新型的改型磁控溅射平面靶材屏蔽罩,可减小在安装及实际镀膜加热过程中的形变,使其与靶材基座之间距离保持稳定,减少阴阳极之间距离过近而产生打火现象的发生频率。
文档编号C23C14/04GKSQ
公开日日 申请日期日 优先权日日
发明者彭春超, 何保军, 赵跃林, 高文波 申请人:许昌天地和光能源有限公司后使用快捷导航没有帐号?
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XRD数据处理MDI Jade6在win7 64位系统下如何导入pdf2004数据库?
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XRD数据处理MDI Jade6在win7 64位系统下如何导入pdf2004数据库?
软件安装好后可以打开,但是现在没有办法导入pdf2004数据
找到pdf2.dat文件后,仍然select all等等全是灰色按钮,没有办法进行下一步
具体如附图所示,先在这里提前谢谢各位帅哥靓妹的帮忙!
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本帖最后由 ask123456 于
17:42 编辑
应该是软件不兼容吧,举个例子:
宽32厘米的路,怎么能走宽为64厘米的车?。。。
帮助他人解决问题,互助方可提高
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呵呵,谢谢,可是软件本身已经可以用了,只是PDF2004导入不进去
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MDI Jade6应该不存在兼容的问题啊。是不是用的盗版软件?
我使用MDI Jade6、7的时候就常常出问题。现在用的是MDI Jade9中文版,一切都OK了
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