涡轮分子泵的优缺点_百度文库
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涡轮分子泵的优缺点
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如何选择和使用涡轮分子泵
本文首先介绍了涡轮分子泵的工作原理,结构型式及其优缺点.为了利用涡轮分子泵,获得清洁真空,国外多利用干式机械泵作其前级泵,构成无油的真空系统.然而,目前国内涡轮分子泵多以油封机械泵为其前级泵,构成了有油真空系统,如果操作不当,很难避免油蒸汽返流,对真空系统的污染.利用有油系统获得清洁真空,国内外都有一些有效防止返流的措施和成功的操作经验.这些对用户正确选择和使用涡轮分子泵有油系统获得清洁真空,有一定的参考价值.
YANG Nai-heng
BA De-chun
WANG Xiao-dong
作者单位：
东北大学,辽宁,沈阳,110004
年，卷(期)：
机标分类号：
在线出版日期：
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万方数据电子出版社Agilent X分子涡轮泵 Agilent G
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Agilent X分子涡轮泵 Agilent G
产品价格：
产品型号：Agilent G
品&牌：Agilent-Varian
公司名称：中山共享光电真空技术有限公司
所&在&地：广东中山
发布时间：
浏览次数：193
Agilent X分子涡轮泵(Agilent G分子涡轮泵) 简介：
Agilent G，Agilent X分子涡轮泵，应用在Agilent 5977A GC/MSD
Agilent X分子涡轮泵具体型号为Agilent Twistorr 304 turbo pump, 该涡轮分子泵在意大利生产，
Agilent X 分子涡轮泵最大转速为60000转
产品详细信息
Agilent X分子涡轮泵(Agilent G分子涡轮泵) 简介：
Agilent G，Agilent X分子涡轮泵，应用在Agilent 5977A GC/MSD
Agilent X分子涡轮泵具体型号为Agilent Twistorr 304 turbo pump, 该涡轮分子泵在意大利生产，
Agilent X 分子涡轮泵最大转速为60000转
请看图片：Agilent 5977A MSD＋ 7693，内部就是使用Agilent X 分子涡轮泵＋Agilent DS42 前极泵
图片中的Agilent X 分子涡轮泵正在加速到72.9%，在Agilent 5977A MSD 上
Agilent X分子涡轮泵 抽到全速后，半个小时，Agilent 5977A 质谱离子源开启的图片：
Agilent TwisTorr 304 分子涡轮泵对应转速为60000转／分钟，对应抽速为250L/s for N2, 255L/s for He , 220L/s &for H2
通用型的Agilent TwisTorr 304 分子涡轮泵有如下型号：
Agilent Twistorr 304 FS ,DN100-ISO, water cooling , Part No. X&
Agilent Twistorr 304 FS ,DN100-CFF6 water cooling , Part No. X
Agilent Twistorr 304 FS ,DN160-ISO, water cooling , Part No. X
&Agilent Twistorr 304 FS ,DN160-CFF8, water cooling , Part No. X
Agilent Twistorr 304 FS ,DN100-ISO, air cooling , Part No. X
Agilent Twistorr 304 FS ,DN100-CFF6 &air cooling , Part No. X
Agilent Twistorr 304 FS ,DN160-ISO, &air cooling , Part No. X
&Agilent Twistorr 304 FS ,DN160-CFF8, air &cooling , Part No. X
Agilent TwissTorr 304 FS ISO100 SF water cooling Part No. X
专用型号为 Agilent X Agilent 5977A 质谱专用
Agilent X分子涡轮泵安装实拍图，如果您留意到，涡轮泵上还贴有我司（中山共享光电真空技术有限公司）的标签
Agilent X分子涡轮泵 配合Agilent DS42 前级泵一起使用，请看Agilent DS42 图片
部分客户配的是Agilent DS42i&
Agilent X SF Turbo pump SEM 专用
Agilent X分子涡轮泵也可以配合Agilent G New-Duo2.5 RVP 230V ， 如下图所示
&美国安捷伦气相色谱-质谱专用真空泵
Agilent &G，是双极旋片式真空泵，专门用于美国美国安捷伦质谱仪中，
中山共享光电专业代理销售Agilent G New-Duo2.5 RVP
Agilent G真空泵极限真空可以达到0.01Pa
Agilent G New-Duo2.5 RVP 230V 美国安捷伦气相色谱-质谱专用真空泵产地为德国，为德国普发公司为美国安捷伦公司特别
定制的一款双极旋片式真空泵，请看对应图片：
在上述实拍图片中，我们可以看到Agilent G New-Duo2.5 RVP 230V 美国安捷伦气相色谱-质谱专用真空泵其性能指标如下：
抽速：2.9立方／小时
净重：11.5公斤
转速：3600转／分钟
用油量： Pfeiffer P3 oil 0.4L
&请看图片Agilent G New-Duo2.5 RVP 230V 美国安捷伦气相色谱-质谱专用真空泵专用油：
如何对Pfeiffer New DUO2.5／Pfeiffer Vacuum DUO3 加油呢？用一字批将上图红色的塑料顺时间拧开，
即可加油，请看对应说明图片：
&如何安装美国安捷伦真空泵对应油雾过滤器呢？美国安捷伦对应订货号G oil Mist Filter,
中山共享光电真空技术有限公司作为专业代理美国安捷伦真空仪器的公司，将以图文告知您：
G oil Mist Filter 对应图片，请看图片：
中山共享光电真空技术有限公司专门代理 Agilent high Vacuum pump
Agilent X G TS304 Turbo pump
Agilent G Turbo Controller
Agilent G Turbo pump Screen
Agilent 5977A 气质联用质谱也可以升级为全无油方案，采用Agilent G Agilent IDP-3
请看下图：
Agilent IDP-3
Agilent G TV304NAV CU 为Agilent 质谱专用的控制器，与Agilent 通用的控制器不一样，
Agilent G TV304NAV在上方图片的左侧，请看图片：
Felight Vacuum System Co.,LTD can supply All type Varian Vane Vacuum pumps, please see the List:
Agilent Dual Stage Rotary Vane Pumps –Felight
Vacuum System Co.,LTD can supply Varian pump list:
Agilent &DS42 Dual Stage Rotary Vane pumps
Agilent DS102 Dual Stage Rotary Vane pumps
Agilent DS202 Dual Stage Rotary Vane pumps
Agilent DS302 Dual Stage Rotary Vane pumps
Agilent DS402 Dual Stage Rotary Vane pumps
Agilent DS602 Dual Stage Rotary Vane pumps
Model:9499315, Model:9499320,
Model:9499325,Model:9499330,model:9499331,model:9499335,Model:9499336
同时，中山共享光电还专业代理Agilent&Scroll Vacuum Pump----瓦里安涡旋干式真空泵的规格和型号为：
Agilent &SH-110&
Agilent SH100
Agilent TriScroll 300
Agilent TriScroll 600
Agilent Varian IDP-2 Dry Oil-Free Scroll Vacuum Pump PN
Agilent IDP-2 Dry Oil-Free Scroll Vacuum Pump With
Hour Meter PN IDP2B11
Agilent IDP-2 Dry Oil-Free Scroll Vacuum Pump With Inlet
Valve Kit PN IDP2B21
Agilent IDP-2 Dry Oil-Free Scroll Vacuum Pump With Inlet
Valve Kit and Hour Meter PN IDP2B31
Agilent IDP-3 Dry Oil-Free Scroll Vacuum Pump NEW IDP3B01
Agilent IDP-3 Dry Oil-Free Scroll Vacuum Pump with Hour
Meter NEW IDP3B11
Agilent IDP-3 Dry Oil-Free Scroll Vacuum Pump With Inlet
Valve Kit PN IDP3B21
Varian IDP-3 Dry Oil-Free Scroll Vacuum Pump With Inlet
Valve Kit and Hour Meter PN IDP3B31
Varian SH-110 Dry Oil-Free Scroll Vacuum Pump NEW
SH01101UNIV
Varian TriScroll 300 Oil-Free Dry Scroll Vacuum Pumps NEW
PTS03001UNIV
Varian TriScroll 300 Inverter Oil-Free Dry Scroll Vacuum
Pumps PTS03001INV 1-Phase 208-220 VAC
Varian TriScroll 600 Oil-Free Dry Scroll Vacuum Pumps NEW
PTS06001UNIV
Varian TriScroll 600 Inverter
Oil-Free Dry Scroll Vacuum Pumps PTS06001INV 1-Phase 208-220 VAC
Agilent G New-Duo2.5 RVP 230V 美国安捷伦气相色谱-质谱专用真空泵侧面图：
在图片中，我们可以看到其电压可以选择230V 及115V 两种
美国安捷伦真空泵维修是件非常专业细致的工作，专心专业的中山共享人，本着全心全意的精神，为
客户提供尽善尽美的服务。中山共享从事涡轮分子泵维修已6个年头，但却没有专门的业务人员，也
无意去招聘业务人员，我们的非常多的顾客都是原有的客户帮我们介绍的，在此中山共享光电真空
技术有限公司全体同仁，对支持帮助过我们的朋友表示万分的感谢
2016年国庆前，中山共享光电真空技术有限公司应佛山市环境监测中心邀请，紧急为其一台Agilent
5977A GC-MSD 单四极杆气质联用系统 真空故障提供技术服务。
& & &佛山市环境监测中心在使用Agilent 5977A GC-MSD 两年多，发现内部分子泵达不到100%转速，他们排除了系统
漏气的可能性后，问题得不到解决，只好请求维修。
& & &Agilent的工程师在更换了前级泵后，情况仍旧，涡轮泵在启动时，声音很大，于是判断涡轮分子泵故障G
或分子泵控制器G故障或 两者都有问题，但Agilent 没有库存，同时也不能提供部件维修服务，只能整体升级，
升级费用为72000元，但部件要从国外调货过来，周期要3周。
& & 可监测任务紧急，时间不等人，佛山市环境监测中心领导在他人的推荐下，找过我司，期望能解决问题，我司总经理
徐中武问清情况后，立刻带了一台分子泵及分子泵控制器及真空计等上门检修。
& & 最终，我司用两天为客户解决了问题，整体费用在2万6千。
Agilent G New-Duo2.5 RVP 230V 美国安捷伦气相色谱-质谱专用真空泵价格是多少呢？
Agilent New-Duo 2.5 真空泵的价格为18000元人民币， 对应产地：德国
对应真空泵油雾过滤器的价格为：1500元人民币， 对应产地：美国
有任何需要Agilent X 涡轮分子泵 请随时联络我们，联系人：
中山共享光电真空技术有限公司 徐中武 手机：／
地址：中山市火炬开发区兴业路1栋5楼，电话： &传真：9
Nothing is Everything & & &
& & & & & & & &专心&专业&全心&全意&尽善&尽美
If you need Agilent X Turbo high vacuum pump, please connect us by:
Mr. Xu Zhongwu WhatsApp:+86
Felight Vacuum System Co.,LTD
以上文字及图片，中山共享光电真空技术有限公司版权所有，严禁盗用，违者法办
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*联系电话：
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涡轮分子泵的结构和工作原理
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> []涡轮分子泵优点和缺点
涡轮分子泵优点和缺点
涡轮分子泵的优势是启动快,具有抵抗各种射线的照射的能力,耐大气冲击,无气体存储和解吸效应,无油蒸气污染或污染很少,所以能获得清洁的超高真空。涡轮分子泵现今广泛用于高能加速器、可控热核反应装置、重粒子加速器以及真空镀膜等需要获得高真空度制造工艺中。但是它的不足之处在于设备费用高,已引起事故,所以对于其优点和缺点的研究还需做更多的工作。
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【亚洲流体网讯】由于涡轮在某些方面，要比低温泵、离子泵和扩散泵更有优势。所以在一般情况下，多选用涡轮分子泵。但是任何真空泵都有不足之处，涡轮分子泵也不例外。接下来将详细介绍涡轮分子泵优点和缺点。
涡轮分子泵
涡轮分子泵优点：
1、清洁，无油蒸汽返流
涡轮分子泵可不用任何阱，按操作规程工作，就能为被抽容器提供一个极为清洁的真空环境，且不含有任何 碳氢化合物。
2、使用方便
在许多应用中，涡轮分子泵可不用高真空阀门或粗真空阀。只是简单地一按电钮，泵便能开始工作。从大气 压力可降至极限压力。这种系统可以通过涡轮分子泵进行粗抽，可一直加速到工作速度为止。
3、气体输送能力强
大多数涡轮分子泵对于输送轻气体的能力很强。因而它非常适于超高真空下的工艺操作。对于那些富氢的工艺过程，氦质谱检漏仪等场合均可得到应用。
4、适于超高真空应用
一台密封和除气良好的涡轮分子泵，配以性能良好的双级旋片泵（或同样性能的干式前级泵），其极限真空 一般可达到10-9&&10-10Torr（即133.3&&13.33nPa）之间。
5、高压力下性能良好
有些涡轮分子泵的入口压力可在10-1&&10-3Torr（即13.33Pa&&133.3mPa）之间运行。在这个压力范围内 ，离子泵不能应用，对于低温泵需要节流抽速或经常再生，对扩散泵的工作也会变得不稳定。
涡轮分子泵缺点：
1、设备费用高
考虑到扩散泵系统需要阀门、挡板、阱、阀门控制器和管道等，总的花费来计算，二者的差别也就不大了，在某些情况下，涡轮分子泵还是便宜的选择。
2、对颗粒物或沉积物敏感
一旦出事故损坏就是严重的，不会有几件回用的。重修、更换零件是很贵的。为了工作安全起见，在泵入口处装上细孔眼的过滤网，以保护泵的正常运转。
3、噪音与振动
从使用经验来看，泵会出现振动和噪音问题，多半是轴承损坏和平衡性差所出现的问题。
4、破碎问题
有些用户由于害怕转子叶片破碎而不敢使用涡轮分子泵，破碎是在泵正常运转时，叶轮突然遭到吸入异物或 轴承磨损而出现破碎的。
5、暴露大气易引起事故
如规管破裂，入口处管道、阀门、密封出现问题，都可能突然使真空泵入口暴露在大气压之下。不同型号的涡轮分子泵，耐大气压冲击的能力是不同的。有些泵会因叶片共振弯曲相碰而损坏，但也有些泵受大气冲击而不损坏。
要想涡轮分子泵有较长的工作寿命和最佳的运转性能，用户一定要按操作规程和使用步骤进行，应该发挥它的优点和尽量避免它的缺点。
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