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真空镀膜机维护方法
第一章 电子枪
1．电子枪枪头罩 内容：电子枪头罩，须每日清洁一次；清洁的目的是清除膜料的残留物及其他异 物资进入枪头内部而容易导致产生电压上升，扫描偏移和加快电阻丝的氧化反应， 以及蒸发膜料时产生气体而产生静电现象。
1．1 清洁方法： 1）分解枪头罩后进行喷沙方式清洁； 2）喷沙必须只操作枪头罩的外部； 3）枪头罩的内里面绝对不可以喷沙，如果对内部经常性喷沙处理，会导致固定 螺丝的磨损使得组装时不再扣紧，如长时间喷沙处理，严重影响或损坏螺纹结构， 导致组装后出现枪头的中心与电阻丝的中心部位不吻合。 此因素会导致以下问题： ①电子束扫描偏移或变化； ②电子束闪动现象； ③镀膜条件变化
真空镀膜机维护方法第一章 电子枪&1．电子枪枪头罩 内容：电子枪头罩，须每日清洁一次；清洁的目的是清除膜料的残留物及其他异 物资进入枪头内部而容易导致产生电压上升，扫描偏移和加快电阻丝的氧化反应， 以及蒸发膜料时产生气体而产生静电现象。&1．1 清洁方法： 1）分解枪头罩后进行喷沙方式清洁； 2）喷沙必须只操作枪头罩的外部； 3）枪头罩的内里面绝对不可以喷沙，如果对内部经常性喷沙处理，会导致固定 螺丝的磨损使得组装时不再扣紧，如长时间喷沙处理，严重影响或损坏螺纹结构， 导致组装后出现枪头的中心与电阻丝的中心部位不吻合。 此因素会导致以下问题： ①电子束扫描偏移或变化； ②电子束闪动现象； ③镀膜条件变化； ④电子器件的故障等。 1．2 枪头分解事项 内容：电子枪头在更换电阻丝时进行清洁。 1）电阻丝更换周期如下： 例）A 品电阻丝更换使用时，Zro2 蒸发时所显示的电流值为 240A 左右； IC/5 中 Zro2 的速率设定为（6.5 Rate）时，电阻丝使用较长， Zro2 的电流值会上 升到 270~280 左右。（ 电阻丝上有异物资或电阻丝已发生氧化，都会产生电流 上升现象）这时可对电阻丝氧化反应现状进行直观确认。 2）枪头清洁方式 ① 对枪头建议不采用喷沙方式进行清洁。 如确切需要采用喷沙方式清洁，可在不 分解枪头的状态下进行，之后将枪头分解，对表面的残留物资进行清洁后组装即 可。 ② 进行喷沙清洁时，尽可能对枪头固定部分和螺纹部分避免喷沙，对固定部分用细 砂纸轻微擦拭。（固定电阻丝部分如果喷沙会有损伤，导致紧固电阻丝时不紧密 和偏形等结果）以上因素会导致以下问题： (.)光斑形状不规则； (.)光斑定位偏移； (.)会成为数据条件变化的因素。&1．3 电子枪扫描架 1）电子枪角铁在清洁中必须慎重管理。 电子枪角铁（合金材料）物性虽然是强性，但通过延续使用过程中，因电子枪的 高热而会转变为软性，所以，如遇较强冲击会导致变形，特别注意在喷沙过程中 不可仍抛物现象，清洁过程中一定要注意。 2）如果上述因素而导致角铁变形，延续产生以下问题：光斑不稳/光斑大小调整 异常/ 扫描等不稳定状态。 3）有时，电子枪的角铁与基台之间没有固定部分前提下组装，再加上操作者不 注意，将导致每次的光斑位置不同，延伸可导致光斑不移动状态。 （角铁上部的组装要比下部更重要）&1．4 电子枪部件 组成部件： 1） 坩埚盘 2）电子枪 角铁 3）扫描线圈接点 4）磁力 线圈 5) 冷却水入口 6）坩埚盘旋转轴 7）高压端子 8）坩埚盘旋转感应器 9）旋转电机 10）扫描线圈 第 2 章 离子源&2．1 离子源 目前，我们使用两种模式的离子源。 1． 霍尔源模式：一般在树脂光学领域使用霍尔源的比率较多，霍尔源的输射角度宽， 设定均匀性的操作上表现非常优越，但，电源电流上升限制在 220V，所以针对 金属材质等产品的使用时比较弱而无明显效果。 2． 考夫曼模式：简单说明可以理解，霍尔离子源主要为辐射角度宽，电源（压）低， 相对比考夫曼模式辐射角度小，电源（压）高；调整作业条件时比起霍尔源难度 较高，但电流电源可上升到 800V,对金属材质的产品等使用适当。 3． 各部件： ①电源线固定点； ②电阻丝固定点； ③气体分配器 .； ④冷却水盘； ⑤磁控立柱； ⑥冷却水盘固定柱；&2．2 气体分配器 离子源气体分配器： 1）方法：约使用 15 日左右后更换，（刻蚀，辅助功能同时使用时）； 2）清洁周期：清洁周期为 12 小时一次； 3）问题：如果气体分配器不洁净，会影响 离子反应，导致影响产品表面膜层的 牢固度。 离子反应不到位，电弧加深，可对产品造成很严重的影响； 如产生较多异物质，中合电流值会上升； 中合电流值显示上升，说明气体分配器的状态不好； 中合电流值应保持在 1 以下最好。 4）离子源灯丝 基本上电阻丝正常使用 2~3 天，更换电阻丝时应如下：（参考值） （阳极）电源-80，（阴极）电流-29.5, 放射电流-4.8, （阳极）电流-4.8， 中合电流 00.0 （根据电阻丝的种类区别多少会有差距） ★阴极电流值约 (21)~(20)状态时，需要更换电阻丝。 5）气体分配器 ① 气体分配器的使用寿命月 50 小时； ②以眼镜镀膜为准，可使用 16 日~17 日后给于更换； ③（氩气 2 分 30 秒）（氧气 1 分 10 秒）（清扫后预热时间）等等。 ④ 离子源清扫每日进行一次。&第 3 章 泵 3．1 增压泵 1）方法：确认 oil 量。 2）周期：每周一次， 3）效果：如发现泵油急剧减少现象出现，将说明问题存在需要检验，通过视窗 发现泵油里积水，或有明显气泡需将油全部更换。停止运转，并对电路等进行检 修或从新安装操作时，必须对泵的旋转方向进行确认无误后方可启动运转（请参 考旋转标示）。 3．2 机械泵 1）方法：确认油量； 2）周期：每天一次； 3）效果： 必须保障油量满足在上下基准显示值范围内； 每 3 个月将油全部排除，并作过 滤处理之后回填，将不足油量补充；油量补 充到油标视窗的 2/3 的高度； 使用 6 个月后，最好将 油全部更换；油过滤器--- 如有 微小的移动空隙， 就应给于清洁 或更换。 3．3 扩散泵 扩散泵各部件： 1）F/V 汽缸结合部 2） M/V 结合部位 3） 扩散泵油注入口 4） 扩散泵油排出口 5） 扩散泵加热器安装位置 D/P 泵 扩散泵管理方法： 1）对扩散泵每年进行一次全面检查；( 通过定期维护管理，延长和维持设备性 能) 2）扩散泵规格为 22 英寸时，两组扩散泵各注入扩散泵油 4.5 升； 3）扩散泵规格为 24 英寸时，两组扩散泵各注入扩散泵油 5.5 升； 4）镀膜参数变化及沉积异常/真空异常等可以现象时，需要将确认扩散泵油量； ※为了确认扩散泵，首先将设备关闭，再等到扩散泵完全冷却以后方可允许气体 注入； （如果在正常操作状态下，扩散泵中有空气进入将导致扩散泵油与空气结合发生 爆炸，所以特别实施注意！） 扩散泵问题确认： 1）确认油量是否保持定量？ . 如果发现油量不足，必须补充到规定油量。 2）确认扩散泵油的颜色是否透明？ .如发现油的颜色变为深色（黑），应给于 更换。 3）确认扩散泵油里是否掺杂异物质？ .如发现异物质，没有发现颜色变化时仅 将异物质给于过滤后再使用即可。 ( 如以上问题状况，需要制定时间表来周期性操作设备检查维护)第 4 章 冰水机（冷却机）&1）方法：每天一次确认水箱水位；&2）周期：每个月更换一次水；&3）效果：首先将水箱内的水排出，更换水进行循环后再次给于更换。 如水质因素导致水管生锈堵塞，影响水的循环和压力，会导致扩散泵温度上升， 甚至会有返油的现象； 再者，如影响到电子枪扫描线圈，导致光斑不稳定而变 化或不移动；加上低压保护装置而需要随时确认；（冷却水循环压力在 3K~3.5K 为最佳状态，低于 2K 会导致问题发生。） 第 5 章 镀膜机气压调节装置 此装置的压力显示低时，M/V 的盖子及各气阀的设定压力值不足而导致返油现象 发生。 目前设备的压力值应保持在 5.5kg。&第 6 章 真空室 内部组成说明： 1）高真空探头 2）低真空探头 3）电子枪&4）离子源&5）真空室冷冻机管路&6）加热灯管 顶部组成说明 1）M/V 阀气缸 2）R/V 阀汽缸&3）L/V 阀气缸&4）L/V 阀消音器 第 7 章 真空确认方法 （相关真空的问题发生时主要的确认方法过程是通过真空计显示画面的数值） （确认和诊断方法）&1.如操作时间比往常出现延长状态时，主要确认真空方向；&2.将作业时间与正常状态时间作比较； 3.确认真空计显示的数值是否有反弹现象；&4.确认各气缸动作时的真空状态是否有泄漏现象；&5.确认真空计显示真空度，是否按照一定规律顺序变动，还是上下有偏差的状态 变动； 对可疑的部位进行丙酮喷洒，并及时确认真空计显示上的变化，来确认是否有真 空泄漏现象； 6.M/V 主阀气缸作为多发生问题部位，主阀轴的密封圈与主轴之间的摩擦而导致 磨损现象是漏真空的主要原因； 7.与真空相关联的部位结构都有密封圈，所以在处理问题时更换密封圈时直接解 决方式；&8.与上述第 4 项内容，电子枪与离子源的密封圈也可能作为问题因素，导致泄露 或冷却水微漏现象；&9.电子枪旋转装置的齿轮轴会有泄漏现象有可能发生，主要因素是轴承和轴封的 老化所致，更换即可； 10.相对平常作业时间延长 2~3 分钟左右，可以看作为操作管理的不足而产生的 结果； 例如) -- 将真空室门开启的时间过长； -- 设备内部的湿气导致的现象； -- 加热灯管的污染严重时； -- 设备内部的污染严重时；
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