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台达伺服系统
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台达伺服系统
200w¨ ASD-A2-0221-B 200W基础型
ASD-A2-0221-L 200W全闭环
ASD-A2-0221-U 200W全闭环，带CANOPEN总线，带DI扩展槽
ASD-A2-0221-M 200W全闭环，带CANOPEN总线
ECMA-C10602ES AC SERVO MOTOR,60mm, Medium inertia, 200W, w/o oil seal,with brake, keyway
ECMA-C10602PS AC SERVO MOTOR,60mm, Medium inertia, 200W, w/o oil seal,with brake, keyway
ECMA-C10602FS AC SERVO MOTOR,60mm, Medium inertia,
200W, w/o oil seal,with brake, keyway
ECMA-C10602GS AC SERVO MOTOR,60mm, Medium inertia,200W, w/o brake, with oil seal, keyway
500W¨ ASD-A2-0421-B 400W基础型
ASD-A2-0421-L 400W全闭环
ASD-A2-0421-U 400W全闭环，带CANOPEN总线，带DI扩展槽
ASD-A2-0421-M 400W全闭环，带CANOPEN总线
ECMA-C10604ES AC SERVO MOTOR,60mm, Medium inertia, 400W, w/o oil seal,with brake, keyway
ECMA-C10604FS AC SERVO MOTOR,60mm, Medium inertia,
400W, w/o oil seal,with brake, keyway
ECMA-C10604GS AC SERVO MOTOR,60mm, Medium inertia,400W, w/o brake, with oil seal, keyway
ECMA-E11305ES
750W¨ ASD-A2-0721-B 750W基础型
ASD-A2-0721-L 750W全闭环
ASD-A2-0721-U 750W全闭环，带CANOPEN总线，带DI扩展槽
ASD-A2-0721-M 750W全闭环，带CANOPEN总线
ECMA-C10807ES AC SERVO MOTOR,80mm, Medium inertia, 750W, w/o oil seal,with brake, keyway
ECMA-C10807FS AC SERVO MOTOR,80mm, Medium inertia,
750W, w/o oil seal,with brake, keyway
ECMA-C10807HS 带刹车，带油封
ECMA-C10807GS AC SERVO MOTOR,80mm, Medium inertia,750W, w/o brake, with oil seal, keyway
ECMA-C10807RX 客制化
1.0KW¨ ASD-A2-1021-B 1KW基础型
ASD-A2-1021-L 1KW全闭环
ASD-A2-1021-U 1KW全闭环，带CANOPEN总线，带DI扩展槽
ASD-A2-1021-M 1KW全闭环，带CANOPEN总线
ECMA-C10810RX 客制化
ECMA-C10910PS
低惯量,1KW,键槽,86框号
ECMA-C10910RS
低惯量,1KW,键槽,86框号,油封
ECMA-C11010ES 低惯量,1KW,键槽
ECMA-C11010GS 低惯量,1KW,键槽,带油封
ECMA-C11010FS 低惯量,1KW,键槽,带刹车
ECMA-E11310ES AC SERVO MOTOR,130mm, Medium inertia, 1KW, w/o oil seal,with brake, keyway
ECMA-E11310FS AC SERVO MOTOR,130mm, Medium inertia,
1KW, w/o oil seal,with brake, keyway
ECMA-E11310GS AC SERVO MOTOR,130mm, Medium inertia,1KW, w/o brake, with oil seal, keyway
ECMA-F11308ES 850W马达
1.5KW¨ ASD-A2-1521-B 1.5KW基础型
ASD-A2-1521-L 1.5KW全闭环
ASD-A2-1521-U 1.5KW全闭环，带CANOPEN总线，带DI扩展槽
ASD-A2-1521-M 1.5KW全闭环，带CANOPEN总线
ECMA-E11315ES AC SERVO MOTOR,130mm, Medium inertia, 1.5KW, w/o oil seal,with brake, keyway
ECMA-E11315FS AC SERVO MOTOR,130mm, Medium inertia,
1.5KW, w/o oil seal,with brake, keyway
ECMA-E11315GS AC SERVO MOTOR,130mm, Medium inertia,1.5KW, w/o brake, with oil seal, keyway
2.0KW¨ ASD-A2-2023-B 2KW基础型
ASD-A2-2023-L 2KW全闭环
ASD-A2-2023-U 2KW全闭环，带CANOPEN总线，带DI扩展槽
ASD-A2-2023-M 2KW全闭环，带CANOPEN总线
ECMA-C11020ES 轻惯量 2KW，带键槽
ECMA-E11320AS AC SERVO MOTOR,130mm, Medium inertia, 2KW, w/o brake and oil seal, round shaft
ECMA-E11320ES AC SERVO MOTOR,130mm, Medium inertia, 2KW, w/o oil seal,with brake, keyway
ECMA-E11320FS AC SERVO MOTOR,130mm, Medium inertia, 2KW, w/o oil seal,with brake, keyway
ECMA-E11320GS AC SERVO MOTOR,130mm, Medium inertia, 2KW, w/o brake, with oil seal, keyway
ECMA-E11820ES AC SERVO MOTOR,180mm, Medium inertia, 2KW, w/o oil seal,with brake, keyway
ECMA-E11820PS AC SERVO MOTOR,180mm, Medium inertia, 2KW, w/o oil seal and brake, keyway with screw hole
ECMA-E11820QS AC SERVO MOTOR,180mm, Medium inertia, 2KW, w/o oil seal,with brake, keyway with screw hole
ECMA-E11820AS AC SERVO MOTOR,180mm, Medium inertia, 2KW, w/o brake and oil seal, round shaft
3.0KW¨ ASD-A2-3023-B 3KW基础型
ASD-A2-3023-L 3KW全闭环
ASD-A2-3023-U 3KW全闭环，带CANOPEN总线，带DI扩展槽
ASD-A2-3023-M 3KW全闭环，带CANOPEN总线
ECMA-E11830PS AC SERVO MOTOR,180mm, Medium inertia, 3KW, w/o oil seal and brake, keyway with screw hole
ECMA-F11830PS AC SERVO MOTOR,180mm, Medium inertia, 3KW, w/o oil seal and brake, keyway with screw hole
ECMA-F11830QS AC SERVO MOTOR,180mm, Medium inertia, 3KW, w/o oil seal,with brake, keyway with screw hole
ECMA-F11830RS AC SERVO MOTOR,180mm, Medium inertia, 4KW, w/o brake, with oil seal,keyway with screw hole
A2 4.5KW ASD-A2-4523-B
4.5kw¨ ASD-A4523-B AC SERVO DRIVER 4.5KW 220V(M)
ECMA-F21830PS
AC SERVO MOTOR 3.0KW
1500RPM (20 Bit)
ECMA-F21830QS 键槽(带螺丝固定孔)+煞车
ECMA-F21830SS 键槽(带螺丝固定孔)+煞车+油封
ECMA-F21830CS
ECMA-F21830DS
圆轴+煞车+油封
ECMA-E21835RD AC SERVO MOTOR 3.5KW
2000RPM (20 Bit)
ECMA-E21835QS 键槽(带螺丝固定孔)+煞车
ECMA-F21845BS 圆轴＋煞车
ECMA-F21845CS 圆轴＋油封
ECMA-F21845DS 圆轴＋煞车＋油封
ECMA-F21845PS AC SERVO MOTOR 4.5KW
1500RPM (20 Bit)
ECMA-F21845RS 键槽(带螺丝固定孔)+油封
ECMA-F21845SS 键槽(带螺丝固定孔)+煞车+油封
5.5kw¨ ASD-A5523-B AC SERVO DRIVER 5.5KW 220V(M)
ECMA-F21855P3 键槽
ECMA-F21855C3 圆轴＋油封
ECMA-F21855D3 圆轴＋油封＋煞车
7.5KW¨ ASD-A7523-B AC SERVO DRIVER 7.5KW 220V(M)
ECMA-F21875P3 键槽
ECMA-F21875C3 圆轴＋油封
ECMA-F21875D3 圆轴＋油封＋煞车
100W¨ ASD-A0121LA
ASMT01L250AK
ASMT01L250BK
200W¨ ASD-A0221LA
ASMT02L250AK
ASMT02L250BK
400W¨ ASD-A0421LA
ASMT04L250AK
ASMT04L250BK
ASMT04L250AM
ASMT04L250AO
750W¨ ASD-A0721LA
ASMT07L250AK
ASMT07L250BK
ASMT07L250AM
ASMT07L250AO
1.0KW¨ ¨ASD-A1021LA
ASD-A1021MA¨
ASMT10L250AK
ASMT10L250BK
ASMT10M250AK
ASMT10M250BK
1.5KW¨ ASD-A1521MA
ASMT15M250AK
ASMT15M250BK
2.0KW¨ ¨ASD-A2023LA
ASD-A2023MA¨
ASMT20L250AK
ASMT20L250BK
ASMT20M250AK
ASMT20M250BK
3.0KW¨ ¨ASD-A3023MA
ASD-A3023LA¨
ASMT30L250AK
ASMT30L250BK
ASMT30M250AK
ASMT30M250BK
100W¨ ASD-A0121-AB AB系列伺服驱动100W
ASD-B0121-A B系列伺服驱动100W
ECMA-C30401ES
0.1KW (Frame Size: 40)
ECMA-C30401FS
200W¨ ASD-A0221-AB AB系列伺服驱动200W
ASD-B0221-A AC SERVO DRIVER 0.2KW 220V(L)
ECMA-C30602ES AC SERVO MOTOR 0.2KW 2500PPR 3000RPM
ECMA-C30602GS AC SERVO MOTOR 0.2KW 2500PPR 3000RPM
ECMA-C30602FS AC SERVO MOTOR 0.2KW
(With Brake)
ECMA-C30602HS AC SERVO MOTOR 0.2KW
(With Brake Oil Seal)
300w¨ ASD-A0421-AB AB系列伺服驱动400W
ASD-B0421-A AC SERVO DRIVER 0.4KW 220V(L)
ECMA-C30604ES AC SERVO MOTOR 0.4KW (60)
ECMA-C30604EC AC SERVO MOTOR 0.4KW (80)
ECMA-C30604AS AC SERVO MOTOR 0.4KW(60)光轴
ECMA-C30604PS AC SERVO MOTOR 0.4KW (60)螺孔，带键槽
ECMA-C30604GS AC SERVO MOTOR 0.4KW(60) (With Oil Seal)
ECMA-C30604CS AC SERVO MOTOR 0.4KW (60)光轴 (With Oil Seal)
ECMA-C30604FS AC SERVO MOTOR 0.4KW(60) (With Brake)
ECMA-C30604HS
ECMA-C30804E7 AC SERVO MOTOR 0.4KW (80)
ECMA-C30804F7 AC SERVO MOTOR 0.4KW (80) (With Brake)
ECMA-C30804EC AC SERVO MOTOR 0.4KW (80)
ECMA-C30804G7 AC SERVO MOTOR 0.4KW(80) with Oil Seal
ECMA-E31305ES AC SERVO MOTOR 0.5KW
ECMA-E31305FS AC SERVO MOTOR 0.5KW (With Brake)
ECMA-G31303ES AC SERVO MOTOR 0.3KW
ECMA-G31303FS AC SERVO MOTOR 0.3KW (With Brake)
600w¨ ASD-A0721-AB AB系列伺服驱动750W
ASD-B0721-A AC SERVO DRIVER 0.75KW 220V(L)
ECMA-C30807ES AC SERVO MOTOR 0.75KW
ECMA-C30807PS AC SERVO MOTOR 0.75KW（带中心螺纹孔）
ECMA-C30807FS AC SERVO MOTOR 0.75KW(With Brake)
ECMA-C30807EC AC SERVO MOTOR 0.75KW (3M)
ECMA-C30807GS AC SERVO MOTOR 0.75KW
with Oil Seal
ECMA-C30807GC AC SERVO MOTOR 0.75KW (with Oil Seal) (3M)
ECMA-C30807HS
ECMA-C30807P6 AC SERVO MOTOR 0.75KW with Shafe diameter 16mm
ECMA-C30807R6 AC SERVO MOTOR 0.75KW with Shafe diameter 16mm
ECMA-G31306ES AC SERVO MOTOR 0.6KW
ECMA-G31306AS 600W圆轴
ECMA-G31306FS AC SERVO MOTOR 0.6KW(With Brake)
ECMA-C30907PC AC SERVO MOTOR 0.75KW 2500PPR 1000RPM (Frame Size:86mm)
ECMA-C30907RS AC SERVO MOTOR 0.75KW 2500PPR 1000RPM(with Oil seal)(Frame Size:86mm)
0.9kw¨ ASD-A1021-AB AB系列伺服驱动1KW
ASD-B1021-A AC SERVO DRIVER 1KW 220V(L)
ECMA-C31010ES AC SERVO MOTOR 1KW
ECMA-C31010PS
ECMA-C31010GS AC SERVO MOTOR 1KW带油封
ECMA-C31010FS AC SERVO MOTOR 1KW (With Brake)
ECMA-C30910PC
ECMA-C30910PS
ECMA-E31310ES AC SERVO MOTOR 1KW
ECMA-E31310PS AC SERVO MOTOR 1KW
ECMA-E31310FS AC SERVO MOTOR 1KW (With Brake)
ECMA-E31310GS AC SERVO MOTOR 1KW with Oil Seal
ECMA-G31309ES AC SERVO MOTOR 0.9KW
ECMA-G31309PS AC SERVO MOTOR 0.9KW （带中心螺纹孔）
ECMA-G31309GS AC SERVO MOTOR 0.9KW
ECMA-G31309CS
0.9KW ( With Oil Seal ,No Keyway )
ECMA-G31309FS AC SERVO MOTOR 0.9KW(With Brake)
1.5KW¨ ASD-A1521-AB AB系列伺服驱动1.5KW
ASD-B1521-A AC SERVO DRIVER 1.5KW 220V(L)
ECMA-E31315ES AC SERVO MOTOR 1.5KW
ECMA-E31315PS
ECMA-E31315GS with Oil Seal
ECMA-E31315FS AC SERVO MOTOR 1.5KW(With Brake)
ECMA-E31315R4 AC SERVO MOTOR 1.5KW(With Oil)
2.0KW¨ ASD-A2023-AB AB系列伺服驱动2KW
ASD-B2023-A AC SERVO DRIVER 2KW 220V(L)
ECMA-C31020ES AC SERVO MOTOR 2KW
ECMA-C31020PS AC SERVO MOTOR 2KW
ECMA-C31020FS AC SERVO MOTOR 2KW
(With Brake)
ECMA-E31320ES AC SERVO MOTOR 2KW
ECMA-E31320PS AC SERVO MOTOR 2KW
ECMA-E31320FS AC SERVO MOTOR 2KW
ECMA-E31320GS AC SERVO MOTOR 2KW
with Oil Seal
ECMA-E31820PS AC SERVO MOTOR 2KW
ECMA-E31820QS AC SERVO MOTOR 2KW (With Brake)
ECMA-E31820RS AC SERVO MOTOR 2KW (With Oil)
3.0KW¨ ASD-A3023-AB&
AC SERVO MOTOR 2KW (With Brake)
ECMA-E31830PS AC SERVO MOTOR 3KW
ECMA-E31830RS AC SERVO MOTOR 3KW (With Oil)
ECMA-E31830QS AC SERVO MOTOR 3KW (With Brake)
ASD-PU-01 Key Pad
ASD-PU-01B Key Pad
MOS-V1328 MOS-V框号
ASD-CNSC0050 A驱动器侧CN1
ASD-CNEN0000 A电机侧编码器接头
ASD-CAPW0000 A UVW（不带刹车）
ASD-CAPW0100 A UVW（带刹车）
ASD-CNEP0000 A电机侧组合（不带刹车）
ASD-CNEP0100 A电机侧组合（带刹车）
驱动器侧CN2
YDM¨ 电机侧编码器弯头
YDM¨ 电机侧编码器直头
YDM 电机侧动力弯头（适合100，130框号）
YDM 电机侧动力直头（适合100，130框号）
YDM 电机侧动力弯头（适合180框号）
YDM 电机侧动力直头（适合180框号）
ASDBCAEN0000 B电机侧编码器接头
ASDBCAPW0100 B UVW（带刹车）
ASDBCNEP0100 B电机侧组合（带刹车）
ASDBCNEP0000 B电机侧组合（不带刹车）
Y A+ 动力直头（5.5KW，7.5KW）
Y A+ 动力弯头（5.5KW，7.5KW）
Y A+ 刹车直头（5.5KW，7.5KW）
Y A+ 刹车弯头（5.5KW，7.5KW）
YDM 伺服与电脑通讯线（A，AB系列）
伺服编码器配线
Y 12芯编码器线（2500线电机）
Y 6芯编码器线（20BIT电机）
台达伺服系统
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台达伺服简介
一、台达伺服电机的定义：
　　台达伺服电机，又名，台达伺服马达，是将电信号转换成转轴的角位移或角速度的补助马达间接变速装置，是可以连续旋转的电――机械转换器，是在自动化控制系统中控制机械元件远转的微特电机（又名：执行电机）。
它是由台湾台达独立研发、生产和销售。
二、台达伺服电机的功能：
　　台达伺服电机的功能，是精确地控制自动化控制系统中机械元件速度、扭矩，准确地控制机械元件的位置。
三、台达伺服电机的工作原理：
　　台达伺服电机的工作原理与交流感应电动机相同：在定子上有两个相空间位移90°电角度的励磁绕组Wf和控制绕组WcoWf接一恒定交流电压，利用施加到Wc上的交流电压或相位的变化，达到控制电机运行的目的。
四、台达伺服电机的特点：
　　4.1、运行稳定；
　　4.2、可控性好；
　　4.3、响应快速；
　　4.4、灵敏度高；
　　4.5、机械特性和调节特性的非线性度指标严格（要求分别小于10％～15％和小于15％～25％）等特点；
五、台达伺服电机与直流伺服电机的优势：
　　伺服电机有交流伺服电机和直流伺服电机两种，台达伺服电机属于交流伺服电机，与直流伺服电机比较，主要优势如下：
　　5.1、无电刷和换向器，因此工作可靠，对维护和保养要求低；
　　5.2、定子绕组散热比较方便；
　　5.3、惯量小，易于提高系统的快速性；
　　5.4、适应于高速大力矩工作状态；
　　5.5、同功率下有较小的体积和重量。
　　台达伺服电机应用案例
　　随着世界能源供应的日趋紧张，可再生能源光伏产品发展迅猛，据行业统计2005年全国太阳能电池产能为300MW，到
2007年已发展到1000MW，到2010年我国太阳能电池/组件产能将达到5000MW以上，显示出对单晶和多晶硅有很大的市场需求，比原来的市场预期提前了10年以上，也预示出单晶硅炉的市场需求将成倍增长。单晶硅炉是半导体材料直拉法晶体专用设备，其硅单晶棒料经切割等后续工艺处理成芯片被制作为二极管.太阳能电池.集成电路等半导体材料的主要器件。近几年来由于国际能源危机及地球环境改善带来对新能源，可再生能源的巨大需求，光伏产业出现前所未有的增长，半导体硅材料的生产又进入新的发展期，因此大力加速发展可再生能源.硅光伏产业及共基础材料---高纯半导体硅（单晶.多芯片）材料已成为当务之急，而硅材料的生长离不开单晶硅炉和多晶硅炉的设备支持。
　　二、单晶硅炉的工艺流程简介、技术需求及方案的分析
　　2-1、单晶硅炉的工艺流程简介
　　单晶硅炉炉的组成组件可分成四部分
　　（1）炉体：包括石英坩埚，石墨坩埚，加热及绝热组件，炉壁
　　（2）晶棒及坩埚拉升旋转机构：包括籽晶夹头，吊线及拉升旋转组件
　　（3）气氛压力控制：包括气体流量控制，真空系统及压力控制阀
　　（4）控制系统：包括侦测感应器及电脑控制系统
　　加工工艺：
　　加料→熔化→缩颈生长→放肩生长→等径生长→尾部生长
　　（1）加料：将多晶硅原料及杂质放入石英坩埚内，杂质的种类依电阻的N或P型而定。杂质种类有硼，磷，锑，砷。
　　（2）熔化：加完多晶硅原料于石英埚内后，长晶炉必须关闭并抽成真空后充入高纯氩气使之维持一定压力范围内，然后打开石墨加热器电源，加热至熔化温度（1420℃）以上，将多晶硅原料熔化。
　　（3）缩颈生长：当硅熔体的温度稳定之后，将籽晶慢慢浸入硅熔体中。由于籽晶与硅熔体场接触时的热应力，会使籽晶产生位错，这些位错必须利用缩劲生长使之消失掉。缩颈生长是将籽晶快速向上提升，使长出的籽晶的直径缩小到一定大小（4-6mm）由于位错线与生长轴成一个交角，只要缩颈够长，位错便能长出晶体表面，产生零位错的晶体。
　　（4）放肩生长：长完细颈之后，须降低温度与拉速，使得晶体的直径渐渐增大到所需的大小。
　　（5）等径生长：长完细颈和肩部之后，借着拉速与温度的不断调整，可使晶棒直径维持在正负2mm之间，这段直径固定的部分即称为等径部分。单晶硅片取自于等径部分。
　　（6）尾部生长：在长完等径部分之后，如果立刻将晶棒与液面分开，那么效应力将使得晶棒出现位错与滑移线。于是为了避免此问题的发生，必须将晶棒的直径慢慢缩小，直到成一尖点而与液面分开。这一过程称之为尾部生长。长完的晶棒被升至上炉室冷却一段时间后取出，即完成一次生长周期。单晶硅炉整机如下图：
　　2-2、技术需求和方案分析
　　单晶硅炉上面共需要四个轴驱动，其中2个使用的是伺服控制系统，另外2个使用的是直流驱动装置实现；该设备根据工艺需要，设备分为炉架、主炉室、副室、提拉旋转机构，下随动机构及液压提升机构、真空及气路系统、水冷系统、光学测量系统、电加热和运动控制系统及计算机控制系统等诸多机构。通过系统优化，实现高科技产品的集成。其次设备采用了许多较新的机构。如上提拉旋转机构，通过花键轴配绕丝轮结合电刷环，在很小的体积上实现了稳定提拉和旋转，满足工艺需求且降低了设备高度，再有下随动机构设备采用精密滚珠丝杠配合坩埚的磁流体密封，运动保持部件置于真空室外，实现精密运动与真空密封的完美结合，使用稳定可靠，还有液压提升机构对副室翻板阀的保持采用无自锁，炉内有漏硅等压力骤增的紧急情况可以实现自动泄压提高了设备的安全可靠性等等。在电器控制上设备采用可编程操作，代替了传统的逻辑编程继电器。电器控制系统由国产机大多采用的单片机，提升到IRCON和CCD工控自动化控制三个类型，提高了设备的自动化控制水平。
　　有控制方案中伺服控制系统存在如下问题：1、伺服控制器的编码器输出管角经常性的损坏；2、伺服电机的输出轴端经常出现断裂的情况；3、伺服控制器的输入输出点需要DC24V和DC12V的开关电源共计4个；
　　原有伺服控制系统同台达AB系列伺服控制系统的功能比较如下表：
原有日系伺服
台达AB系列伺服
单相200V(400W以下)
单相200V(2KW以下)
点对点八点
8组定时器定位
位置定位整定时间
数字输入可程序化
速度回路频率特性
通过原日系伺服系统所存在的问题以及台达伺服同原有日系伺服的功能比较表客户最终在伺服控制系统上面选择了我们台达AB系列伺服系统的控制方案即：2套伺服控制系统选用台达AB系列伺服，型号为ASDA-0421AB；
　　三、台达AB系列伺服的控制理论及主要特点
　　3-1、台达AB系列伺服采用的是先进强健式的控制理论(PDFF)如下图
　　3-2、强健式控制理论的优缺点
　　优点：
　　1、在大范围负载惯量变化,系统依然保有优秀性能
　　2、对命令和干扰有不同的补偿控制
　　3、稳定性完全保证
　　4、阻尼刚性优良, 低速转动特性优良
　　5、超越量很小
　　缺点：
　　1、控制参数需由繁复数学计算而得, 使用者无法自行调整
　　对策：依阻尼刚性的大小, 驱动器内含十组强健控制器, 供使用者选用
　　四、台达AB系列伺服在单晶硅炉上使用方案的实施
　　4-1、单晶硅炉上位机控制系统与台达AB系列伺服的连线
上位机线编号
4-2、台达伺服的调试
　　手动调试：在整个系统的机械安装和电器的连接完毕后，首先利用上位系统或台达伺服所具有的手动控制方式，同时将所有伺服的参数P0-02设置成14，让机构的X轴和Y轴进行往复的运动，在伺服的显示屏上会显示伺服在此机构上面应用的转动惯量JL/JM，我们利用台达伺服的软件自动增益调整功能中的静态增益调整，将伺服显示的转动惯量JL/JM和我们通过调试计算出来的响应频宽B.W输入的软件中，在单晶硅炉项目中我们测试出伺服的转动惯量JL/JM、响应频宽B.W是80，计算出来我们需要的参数，把这些参数手动输入的伺服控制器中，单晶硅炉即可正常运行。
　　自动调试：这种调试比手动要简单了，首先也要像手动那样先将转动惯量JL/JM测试出来，把这个值输入到参数P1-37中，再把参数P2-31设置成64、P2-32设置成5，这样单晶硅炉就可以正常运行了。
无计算机软件时的PDFF 自动增益调机步骤
手动调整比自动调整要精确的多，可以通过多次的加工测试来测试出一组最适合整个机构的参数；但是手动调整的时间要比较长，花费的工期也比较多，同时在成批量生产的过程中，伺服参数的输入等也都非常的不方便；台达AB系列伺服的高性能、整定时间短、在单晶硅炉应用中的调频参数比较宽等等，所以我们在单晶硅炉的正常应用中使用自动调整比较多一点。
　　4-3、ASDA伺服参数的说明
　　ASDA伺服在单晶硅炉系统应用中需要更改的参数说明
　　P0-02:14
　　驱动器的状态的显示；用来显示机构的转动惯量
　　P1-01:2
　　控制模式及控制命令输入源的设定
　　P1-37:11
　　伺服电机的负载惯量比；在自动模式下用来设定伺服电机的负载惯量比
　　P1-44:12、P1-45:10
　　电子齿轮比的分子、分母；使伺服电机带动的滚珠丝杠等机构运动的距离与上位机要求的距离相同
　　P1-46:10128
　　检出器输出脉冲数设定: 脉冲数设定值范围即为伺服电机一回转的输出单相脉冲数。
　　P2-00:125
　　位置控制增益；主要控制伺服位置环回路的应答性
　　P2-04:5526
　　速度控制增益；主要控制伺服速度环回路的应答性
　　P2-06:80
　　速度积分补偿；控制伺服电机、机构的固定偏差和整个机构的抖动
　　P2-25:3
　　共振抑制低通滤波；用来设定共振抑制低通滤波的时间常数
　　P2-26:14
　　外部干扰抵抗增益；用来增加对外力的抵抗能力并降低加减速的过冲现象
　　P2-31:64
　　自动及简易模式设定；在自动模式时用来设定响应的频宽
　　P2-32:5
　　增益调整方式；设定伺服的调整模式为PDFF自动模式即负载惯量比固定，伺服的响应频宽可调整
　　2007年，在全球范围内晶体硅产量中，电子级占接近55%，太阳能级占45%多。随着太阳能光伏产业的迅猛发展，太阳能电池芯片对晶体硅需求量的增长速度远高于半导体晶体硅的发展（太阳能递增速度2位数以上，半导体芯片5%左右），不久的将来太阳能晶体硅的需求量将大幅度超过电子级晶体硅用量。当前，晶体硅材料（包括多晶硅和单晶硅）是最主要的光伏材料，其市场占有率在90%以上，而且在今后相当长的一段时期也依然是太阳能电池的主流材料。在世界范围内，太阳能级晶体硅生产与供应已严重制约太阳能电池的发展，由此可以看到对应生产晶体硅的设备单晶硅炉和多晶硅炉在最近几年的市场必定是异常火爆，同时晶体硅炉设备的发展也是影响太阳能行业的重要发展方向之一；
规格选型资料如下：
BPCS& CODE
ASD-A0121-AB
AB系列伺服100W
ASD-B0121-A
B系列伺服100W
ECMA-C30401ES
&0.1KW (Frame
ECMA-C30401FS
ASD-A0221-AB
AB系列伺服200W
ASD-B0221-A
AC SERVO DRIVER
0.2KW 220V(L)
ECMA-C30602ES
AC SERVO MOTOR
0.2KW 2500PPR 3000RPM
ECMA-C30602GS
AC SERVO MOTOR
0.2KW 2500PPR 3000RPM
ECMA-C30602FS
AC SERVO MOTOR
0.2KW& (With Brake)
ECMA-C30602HS
AC SERVO MOTOR
0.2KW& (With Brake Oil Seal)
ASD-A0421-AB
AB系列伺服400W
ASD-B0421-A
AC SERVO DRIVER
0.4KW 220V(L)
ECMA-C30604ES
AC SERVO MOTOR
0.4KW (60)
ECMA-C30604EC
AC SERVO MOTOR
0.4KW (80)& (3M)
ECMA-C30604AS
AC SERVO MOTOR
0.4KW(60)光S
ECMA-C30604PS
AC SERVO MOTOR
0.4KW (60)螺孔，I槽
ECMA-C30604GS
AC SERVO MOTOR
0.4KW(60) (With Oil Seal)
ECMA-C30604CS
AC SERVO MOTOR
0.4KW (60)光S (With Oil Seal)
ECMA-C30604FS
AC SERVO MOTOR
0.4KW(60) (With Brake)
ECMA-C30604HS
ECMA-C30804E7
AC SERVO MOTOR
0.4KW (80)
ECMA-C30804F7
AC SERVO MOTOR
0.4KW (80) (With Brake)
ECMA-C30804EC
AC SERVO MOTOR
0.4KW (80)& (3M)
ECMA-C30804G7
AC SERVO MOTOR
0.4KW(80) with Oil Seal
ECMA-E31305ES
AC SERVO MOTOR
ECMA-E31305FS
AC SERVO MOTOR
0.5KW (With Brake)
ECMA-G31303ES
AC SERVO MOTOR
ECMA-G31303FS
AC SERVO MOTOR
0.3KW (With Brake)
ASD-A0721-AB
AB系列伺服750W
ASD-B0721-A
AC SERVO DRIVER
0.75KW 220V(L)
ECMA-C30807ES
AC SERVO MOTOR
ECMA-C30807PS
AC SERVO MOTOR
0.75KW（带中心螺纹孔）
ECMA-C30807FS
AC SERVO MOTOR
0.75KW(With Brake)
ECMA-C30807EC
AC SERVO MOTOR
0.75KW (3M)
ECMA-C30807GS
AC SERVO MOTOR
0.75KW& with Oil Seal
ECMA-C30807GC
AC SERVO MOTOR
0.75KW (with Oil Seal) (3M)
ECMA-C30807HS
ECMA-C30807P6
AC SERVO MOTOR
0.75KW with Shafe diameter 16mm
ECMA-C30807R6
AC SERVO MOTOR
0.75KW with Shafe diameter 16mm
ECMA-G31306ES
AC SERVO MOTOR
ECMA-G31306AS
ECMA-G31306FS
AC SERVO MOTOR
0.6KW(With Brake)
ECMA-C30907PC
AC SERVO MOTOR
0.75KW 2500PPR 1000RPM (Frame Size:86mm)
ECMA-C30907RS
AC SERVO MOTOR
0.75KW 2500PPR 1000RPM(with Oil seal)(Frame Size:86mm)
ASD-A1021-AB
AB系列伺服1KW
ASD-B1021-A
AC SERVO DRIVER
1KW 220V(L)
ECMA-C31010ES
AC SERVO MOTOR
ECMA-C31010PS
ECMA-C31010GS
AC SERVO MOTOR
ECMA-C31010FS
AC SERVO MOTOR
1KW (With Brake)
ECMA-C30910PC
ECMA-C30910PS
ECMA-E31310ES
AC SERVO MOTOR
ECMA-E31310PS
AC SERVO MOTOR
ECMA-E31310FS
AC SERVO MOTOR
1KW (With Brake)
ECMA-E31310GS
AC SERVO MOTOR
1KW with Oil Seal
ECMA-G31309ES
AC SERVO MOTOR
ECMA-G31309PS
AC SERVO MOTOR
0.9KW （带中心螺纹孔）
ECMA-G31309GS
AC SERVO MOTOR
ECMA-G31309CS
&0.9KW ( With Oil
Seal ,No Keyway )
ECMA-G31309FS
AC SERVO MOTOR
0.9KW(With Brake)
ASD-A1521-AB
AB系列伺服1.5KW
ASD-B1521-A
AC SERVO DRIVER
1.5KW 220V(L)
ECMA-E31315ES
AC SERVO MOTOR
ECMA-E31315PS
ECMA-E31315GS
ECMA-E31315FS
AC SERVO MOTOR
1.5KW(With Brake)
ECMA-E31315R4
AC SERVO MOTOR
1.5KW(With Oil)
ASD-A2023-AB
AB系列伺服2KW
ASD-B2023-A
AC SERVO DRIVER
2KW 220V(L)
ECMA-C31020ES
AC SERVO MOTOR
ECMA-C31020PS
AC SERVO MOTOR
ECMA-C31020FS
AC SERVO MOTOR
2KW& (With Brake)
ECMA-E31320ES
AC SERVO MOTOR
ECMA-E31320PS
AC SERVO MOTOR
ECMA-E31320FS
AC SERVO MOTOR
ECMA-E31320GS
AC SERVO MOTOR
2KW& with Oil Seal
ECMA-E31820PS
AC SERVO MOTOR
ECMA-E31820QS
AC SERVO MOTOR
2KW (With Brake)
ECMA-E31820RS
AC SERVO MOTOR
2KW (With Oil)
ASD-A3023-AB&&
AC SERVO MOTOR
2KW (With Brake)
ECMA-E31830PS
AC SERVO MOTOR
ECMA-E31830RS
AC SERVO MOTOR
3KW (With Oil)
ECMA-E31830QS
AC SERVO MOTOR
3KW (With Brake)
ASD-PU-01B
MOS-V1024&
MOS-V1842&
MOS-V2258&
BPCS& CODE
ASD-A2-0221-B
200W基础型
ASD-A2-0221-L
200W全闭环
ASD-A2-0221-U
200W全闭环，带CANOPEN总线，带DI扩展槽
ASD-A2-0221-M
200W全闭环，带CANOPEN总线
ECMA-C10602ES
MOTOR,60mm, Medium inertia, 200W, w/o oil seal,with brake, keyway
ECMA-C10602PS
MOTOR,60mm, Medium inertia, 200W, w/o oil seal,with brake, keyway
ECMA-C10602FS
MOTOR,60mm, Medium inertia,& 200W, w/o oil seal,with brake, keyway
ECMA-C10602GS
MOTOR,60mm, Medium inertia,200W, w/o brake, with oil seal, keyway
ASD-A2-0421-B
400W基础型
ASD-A2-0421-L
400W全闭环
ASD-A2-0421-U
400W全闭环，带CANOPEN总线，带DI扩展槽
ASD-A2-0421-M
400W全闭环，带CANOPEN总线
ECMA-C10604ES
MOTOR,60mm, Medium inertia, 400W, w/o oil seal,with brake, keyway
ECMA-C10604FS
MOTOR,60mm, Medium inertia,& 400W, w/o oil seal,with brake, keyway
ECMA-C10604GS
MOTOR,60mm, Medium inertia,400W, w/o brake, with oil seal, keyway
ECMA-E11305ES
ASD-A2-0721-B
750W基础型
ASD-A2-0721-L
750W全闭环
ASD-A2-0721-U
750W全闭环，带CANOPEN总线，带DI扩展槽
ASD-A2-0721-M
750W全闭环，带CANOPEN总线
ECMA-C10807ES
MOTOR,80mm, Medium inertia, 750W, w/o oil seal,with brake, keyway
ECMA-C10807FS
MOTOR,80mm, Medium inertia,& 750W, w/o oil seal,with brake, keyway
ECMA-C10807HS
带刹车，带油封
ECMA-C10807GS
MOTOR,80mm, Medium inertia,750W, w/o brake, with oil seal, keyway
ECMA-C10807RX
ASD-A2-1021-B
ASD-A2-1021-L
ASD-A2-1021-U
1KW全闭环，带CANOPEN总线，带DI扩展槽
ASD-A2-1021-M
1KW全闭环，带CANOPEN总线
ECMA-C10810RX
ECMA-C10910PS&
低惯量,1KW,键槽,86框号
ECMA-C10910RS&
低惯量,1KW,键槽,86框号,油封
ECMA-C11010ES
低惯量,1KW,键槽
ECMA-C11010GS
低惯量,1KW,键槽,带油封
ECMA-C11010FS
低惯量,1KW,键槽,带刹车
ECMA-E11310ES
MOTOR,130mm, Medium inertia, 1KW, w/o oil seal,with brake, keyway
ECMA-E11310FS
MOTOR,130mm, Medium inertia,& 1KW, w/o oil seal,with brake, keyway
ECMA-E11310GS
MOTOR,130mm, Medium inertia,1KW, w/o brake, with oil seal, keyway
ECMA-F11308ES
ASD-A2-1521-B
1.5KW基础型
ASD-A2-1521-L
1.5KW全闭环
ASD-A2-1521-U
1.5KW全闭环，带CANOPEN总线，带DI扩展槽
ASD-A2-1521-M
1.5KW全闭环，带CANOPEN总线
ECMA-E11315ES
MOTOR,130mm, Medium inertia, 1.5KW, w/o oil seal,with brake, keyway
ECMA-E11315FS
MOTOR,130mm, Medium inertia,& 1.5KW, w/o oil seal,with brake, keyway
ECMA-E11315GS
MOTOR,130mm, Medium inertia,1.5KW, w/o brake, with oil seal, keyway
ASD-A2-2023-B
ASD-A2-2023-L
ASD-A2-2023-U
2KW全闭环，带CANOPEN总线，带DI扩展槽
ASD-A2-2023-M
2KW全闭环，带CANOPEN总线
ECMA-C11020ES
2KW，带键槽
ECMA-E11320AS
MOTOR,130mm, Medium inertia, 2KW, w/o brake and oil seal, round shaft
ECMA-E11320ES
MOTOR,130mm, Medium inertia, 2KW, w/o oil seal,with brake, keyway
ECMA-E11320FS
MOTOR,130mm, Medium inertia, 2KW, w/o oil seal,with brake, keyway
ECMA-E11320GS
MOTOR,130mm, Medium inertia, 2KW, w/o brake, with oil seal, keyway
ECMA-E11820ES
MOTOR,180mm, Medium inertia, 2KW, w/o oil seal,with brake, keyway
ECMA-E11820PS
MOTOR,180mm, Medium inertia, 2KW, w/o oil seal and brake, keyway with screw
ECMA-E11820QS
MOTOR,180mm, Medium inertia, 2KW, w/o oil seal,with brake, keyway with screw
ECMA-E11820AS
MOTOR,180mm, Medium inertia, 2KW, w/o brake and oil seal, round shaft
ASD-A2-3023-B
ASD-A2-3023-L
ASD-A2-3023-U
3KW全闭环，带CANOPEN总线，带DI扩展槽
ASD-A2-3023-M
3KW全闭环，带CANOPEN总线
ECMA-E11830PS
MOTOR,180mm, Medium inertia, 3KW, w/o oil seal and brake, keyway with screw
ECMA-F11830PS
MOTOR,180mm, Medium inertia, 3KW, w/o oil seal and brake, keyway with screw
ECMA-F11830QS
MOTOR,180mm, Medium inertia, 3KW, w/o oil seal,with brake, keyway with screw
ECMA-F11830RS
MOTOR,180mm, Medium inertia, 4KW, w/o brake, with oil seal,keyway with screw
ASD-A2-4523-B
ASD-A4523-B
AC SERVO DRIVER
4.5KW 220V(M)
ECMA-F21830PS&
AC SERVO MOTOR
3.0KW& 1500RPM (20 Bit)
ECMA-F21830QS
I槽(螺z固定孔)+煞
ECMA-F21830SS
I槽(螺z固定孔)+煞+油封
ECMA-F21830CS&
ECMA-F21830DS&
AS+煞+油封
ECMA-E21835RD
AC SERVO MOTOR
3.5KW& 2000RPM (20 Bit)
ECMA-E21835QS
I槽(螺z固定孔)+煞
ECMA-F21845BS
ECMA-F21845CS
ECMA-F21845DS
AS＋煞＋油封
ECMA-F21845PS
AC SERVO MOTOR
4.5KW& 1500RPM (20 Bit)
ECMA-F21845RS
I槽(螺z固定孔)+油封
ECMA-F21845SS
I槽(螺z固定孔)+煞+油封
ASD-A5523-B
AC SERVO DRIVER
5.5KW 220V(M)
ECMA-F21855P3
ECMA-F21855C3
ECMA-F21855D3
AS＋油封＋煞
ASD-A7523-B
AC SERVO DRIVER
7.5KW 220V(M)
ECMA-F21875P3
ECMA-F21875C3
ECMA-F21875D3
AS＋油封＋煞
BPCS& CODE
ASD-A0121LA
ASMT01L250AK
ASMT01L250BK
ASD-A0221LA
ASMT02L250AK
ASMT02L250BK
ASD-A0421LA
ASMT04L250AK
ASMT04L250BK
ASMT04L250AM
ASMT04L250AO&
ASD-A0721LA
ASMT07L250AK
ASMT07L250BK
ASMT07L250AM
ASMT07L250AO
ASD-A1021LA
ASD-A1021MA
ASMT10L250AK
ASMT10L250BK
ASMT10M250AK
ASMT10M250BK
ASD-A1521MA
ASMT15M250AK
ASMT15M250BK
ASD-A2023LA
ASD-A2023MA
ASMT20L250AK
ASMT20L250BK
ASMT20M250AK
ASMT20M250BK
ASD-A3023MA
ASD-A3023LA
ASMT30L250AK
ASMT30L250BK
ASMT30M250AK
ASMT30M250BK
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