【摘要】:针对DMD数字光刻成像畸變问题,提出一种优化DMD微镜像素灰度值提高光刻成像质量的方法将微镜像素的灰度值编码为0,1二进制位串,然后利用梯度下降法优化微镜像素嘚灰度。对矩形掩模图和T型掩模图进行仿真验证表明,两种图形的误差值(PE)分别下降了83.9%、80.5%,该方法可以较大程度地提高数字光刻成像质量
支持CAJ、PDF文件格式,仅支持PDF格式
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