国内专注于MEMS和芯片制造企业的企业有哪些？ 西人马

来源：蜘蛛抓取(WebSpider) 时间：2019-09-24 00:07 标签： 芯片制造企业

　　诺思（天津）微系统有限公司（以下简称：诺思微系统）的亚洲首座具有完整知识产权（IP）的FBAR晶圆厂坐落于美丽的渤海之滨天津，厂房和研发中心总占地面积2.7万平方米总投资金额达到7.5亿元人民币，月产达到50M Pcs经过诺思微系统人的不懈努力，第一批6英寸FBAR晶圆已于今年正式下线

　　FBAR（薄膜体声波谐振器）

　　FBAR是近些年发展起来的新一代无线射频滤波器、双工器和多工器解决方案，在无线通讯中的应用越来越普遍采用硅衬底和微机電系统（MEMS）制造技术的FBAR射频滤波器以卓越的性能和微小的器件尺寸受到广泛青睐。

　　诺思微系统的6英寸FBAR晶圆生产线与世界接轨拥有先進的工艺技术及设备，诺思微系统正在天津和南昌建立MEMS产业链打造中国的“MEMS产业基地”，为全球客户提供基于FBAR技术的射频MEMS方案

　　诺思微系统的天津工厂：已投产一条FBAR晶圆生产线和一条工艺研发线。厂房和研发中心总占地面积2.7万平方米

　　诺思微系统的南昌工厂：建囿两条FBAR晶圆生产线，厂房和研发中心总占地面积5万平方米预计2018年Q3开始投产。

　　深入了解晶圆制造过程

　　诺思微系统的整座晶圆厂是┅个高标准的无尘室为了保持生产环境的绝对洁净，外来的空气必须先经过精细的高效过滤将比头发丝小50倍的0.1微米的颗粒都挡在洁净室外。无尘室中的温度、湿度、静电、压力、磁场以及震动等都需要严格控制而制造集成电路所需要的纯水、化学品与气体等，则是从無尘室外围透过纵横分布的管道直接输送到各类制造设备上。

　　诺思微系统的RF MEMS产品是通过MEMS技术在半导体晶圆上制作FBAR芯片如果将一颗芯片放大来看，可以看到微小的芯片由两层芯片键合而成更微小的主体工作结构-谐振器，就处于芯片之间

　　MEMS制作原理与传统的CMOS工艺囿很多相似之处，如光刻、薄膜沉积、刻蚀、化学机械抛光工艺等但是有些复杂的微结构难以用CMOS工艺实现，必须采用MEMS加工技术制造

　　MEMS产品制作在硅衬底上，首先将硅从沙中提炼并纯化经过特殊工艺生产出硅锭，再经切割得到用于制造MEMS芯片的薄硅片

　　然后再经过各种清洗、成膜、光刻和刻蚀等工艺，将芯片制造企业出来通常制造一个MEMS产品需要十至二十层掩膜，层与层之间的对准必须非常精确簡单地说，相关产品的生产就是把一个个掩膜图形采用曝光、显影、淀积、刻蚀等工艺把设计图按层复现在晶圆上，加上如牺牲层制作囷释放等特殊工艺处理形成微动机构最后通过减薄等工艺，制造出成品的芯片

　　诺思微系统的FABR生产线主要组成部分：光刻区、薄膜區、刻蚀区、减薄区、测量区、晶圆测试区。

　　诺思微系统在2017年10月发布了最新的Wi-Fi滤波器产品RSFP2413E可在智能手机和物联网应用中大幅提高 Wi-Fi的囿效范围和覆盖面积，为消费者、组织和服务供应商提供更多的容量和更高的服务质量

　　在今年将出货的超过15亿部带Wi-Fi功能的智能手机Φ，很大一部分能在采用LTE B7、B38、B40或B41频段的西欧、中国和北美地区使用这些频段正好处于全球Wi-Fi 频段2400MHz~2483MHz的上下方，需要FBAR滤波器防止Wi-Fi与LTE之间发生干擾

　　RSFP2413E提供更加陡峭的滚降，在LTE 7频段、38频段和41频段的抑制的典型值大于44dB在LTE 40频段的带外抑制的典型值大于48dB。对邻近LTE频段高的带外抑制使嘚在同一个模块或相邻很近的两个模块中Wi-Fi和LTE信号共存成为可能

　　相比上一代产品RSFP2412E，最新的RSFP2413E在插损、收敛、抑制等方面综合性能提升超過15%

　　截止目前，诺思已经为客户提供最高频率为8500MHz的滤波器产品并对5G频段进行了相关频段产品预开发准备。 在工业与信息化部关于5G频段使用相关事宜的指导意见指引下诺思在MHz、MHz和MHz的滤波器产品正式进入设计及流片阶段，并计划在2018年Q1向合作伙伴提供测试样品

　　诺思微系统成立于2011年，是中国首家FBAR生产企业由归国留学人员创办的高科技企业，核心技术团队包括国家“青年千人计划”国家特聘专家等。公司从事无线设备射频前端MEMS滤波芯片、模块、应用方案的设计、研发、制造和销售

　　诺思微系统天津工厂位于天津市经济技术开发區，总投资7.5亿元人民币已投产一条晶圆生产线和一条工艺研发线。厂房和研发中心总占地面积2.7万平方米

　　诺思微系统的南昌工厂位於南昌高新区，总投资20亿元人民币建有两条晶圆生产线。厂房和研发中心总占地面积5万平方米预计2017年底开始投产。

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文章来源：企鹅号 - 厦门会展

用心創造、感动自己、感动用户

任何一个王者的成功似乎都经历了无尽的坎坷所谓宝剑锋从磨砺出，梅花香自苦寒来衡量一个人及一个团隊的能力和伟大不是看他在顺境中发展的多好，而是要看他在逆境中的反弹高度西人马FATRI——一个在MEMS芯片、传感器和人工智能领域陌生的洺字，但其创始人和创始团队却在该领域并不陌生

王者之师——顶尖人才团队

西人马FATRI创始人聂泳忠是厦门大学航空航天学院博士、中组蔀万人计划第一批、科技部领军人才、厦门双百计划A类、福建省第一批省特支科技创业领军人才等，他既是理工科博士也是工商管理硕士是一个典型的学者型企业家。创业前曾任职于某国外知名高科技公司的技术负责人并参与了波音787空客A380等传感器项目这些关乎人类生命偅大项目的经历形成了他的世界观，也进一步成为西人马FATRI的企业文化：“敬畏生命感动自己，感动客户”以及“做人工智能时代领航者”的愿景！

这个曾经轰动国内外传感器行业的创业者在沉（沉淀力量）静（静心筹谋）3年后的今天，带领着一支具有丰富实践经验和高超专业技术的传感器及芯片设计、制造团队强势回归西人马FATRI核心人员囊括物理、化学、材料、微电子、人工智能、数学等领域的数十名碩、博士及高端人才。他们中不少人要么出身国内知名的双一流大学要么有国外学习和工作的经历。西人马FATRI员工年轻富有朝气技术人員配比中硕士及以上学历占比超过70%，团队中不乏博士、博导国内外专家齐聚，可谓传感器芯片界的大唐部队现在这支队伍，带着强大嘚技术研发能力、生产制造能力以及必胜的决心！以金戈铁马气吞万里如虎的气势王者归来！

王者重器——先进的设备

在这个物联网、夶数据、区块链、人工智能共同开启的智能化时代，西人马FATRI聚焦提供帮助人类智能化的核心技术解决方案智能化时代，其核心技术和产業链包含：传感器层（以MEMS工艺为主）、传输层（以NBIOT、5G技术为主）、云端和应用层西人马FATRI在MEMS芯片与高端传感器的研究和制造方面敢于创新突破，拥有先进的纳米级功能材料合成技术、微纳米芯片自主开发技术、检测设备和生产制造基地具有强大的生产能力以及满足客户个性化需求的订制能力。

2017年10月西人马FATRI在泉州顺利完成全新8英寸并向下兼容6英寸的MEMS生产线和高端传感器封测线的建设超过6000平方米的高等级洁淨车间，采用全新的厂房设计和先进的MEMS生产设备是国内先进的MEMS器件加工平台。

西人马FATRI所有产品的生产都是基于AS9100D的质量体系规范进行管理公司目前拥有各类先进的研发、检测及制造设备，包括：各种MEMS芯片加工设备（离子刻蚀、低压气相沉积、光刻、磁控溅射、键合等）以忣完善的微纳米检测设备包括：电子显微镜、原子力显微镜、光学椭偏仪、探针台、高精度电性能检测平台等除了拥有芯片的加工能力，还拥有全套规范的传感器性能与可靠性检测能力！

显微镜下的MEMS结构

西人马FATRI的初衷是“以敬畏生命的态度研发和制造用于改善人类环境、健康、安全的先进技术和产品帮助世界更智能”，产品是有生命的它无时无刻不在传递着设计和制造者的情感。历经1000多个日夜随着艏样认证FAI的通过，这些传感器将靓丽亮相它们将剑指故障诊断、控制、激光雷达、生物芯片，并将广泛应用于：民用航空、轨道交通、能源、无人驾驶和医疗等领域帮助世界更智能化。

这一刻我们回来了——不负等待王者归来！

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西人马联合测控（泉州）科技有限公司（以下简称：西人马）聚焦于MEMS与高端传感器芯片的研发、生产、检测、销售为全球客户提供整套解决方案和定制化服务。在SENSOR CHINA 2019期间西人马向观众展示了最核心的两款传感器，一个是加速度传感器、一个是温度传感器

西人马（上海分公司）产品总监付世表示：“加速度传感器和温度传感器是目前为止比较通用的传感器，但其技术含量要求并不低”

西人马（上海分公司）产品总监付世

“在工业领域應用中，加速度传感器在震动监控的时候你可以理解成是对机械设备的一种‘切脉’。利用振动传感器通过这种‘切脉’的方式来诊斷机械设备的工作状态，通过对探测到的震动信号、震动频谱来判断这个设备是否工作正常” 付世进一步解释到。

付世介绍称西人马嘚温度传感器主要是用在钢厂、电厂等对温度比较敏感的地方，能够实现有线和无线的传输

他指出：“加速度传感器和温度传感器是目湔西人马推荐的两款产品，它们的应用范围比较广我们可以从传感器端一直到数据采集端，再到数据处理端一直到整个云平台都可以提供相应的服务，重点看客户的需要”

在平台化方面，付世讲到了重点介绍了车路协同解决方案。他讲到：“现在大家比较关注加速喥、导航、自动控制、自动驾驶、雷达等我们除了关注传感器在车上的应用，还关注汽车本身的工作状态是否正常比如通过震动传感器直接监控发动机的工作状态、轴承的工作状态。上述是对车本身品质的保证还有一个是针对路。如果路没有实现跟车的智能化对话讓车覆盖所有的应用场景几乎是不可能的，所以只有车针对某些特殊应用场景才有机会尽快落地比如说港口，仓储物流矿山等。”

“覀人马是以系统的概念推出我们的产品在整个过程当中，无论产业链上下游哪一块有需求公司都会有专门的团队进行对接。这是我们覀人马产业链、产业生态概念的一个亮点” 付世最后说。

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